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上海加惠儀器儀表有限公司 主營(yíng):上海加惠儀器儀表有限公司代理品牌有,意大利HANNA,德國(guó)LOVIBOND,美國(guó)HACH,美國(guó)NK,德國(guó)尼克斯,德國(guó)德威爾,日本HORIBA ,加拿大BW ,臺(tái)灣一諾,香港希瑪,德國(guó)德圖,瑞士徠卡,上海六表,主要銷售的儀器:水質(zhì)分析儀器,風(fēng)速氣象儀,涂層測(cè)厚儀,氣體流量控制器,壓力表,測(cè)力計(jì), 測(cè)距儀,兆歐表,溫度產(chǎn)品,氣體檢測(cè)儀,電話15921864995 021-64697348
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產(chǎn)品詳情

SEC-Z522MGX日本堀場(chǎng)HORIBA質(zhì)量流量控制器

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  • 產(chǎn)品展商:日本HORIBA
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簡(jiǎn)單介紹

這是HORIBA用于數(shù)字質(zhì)量流量控制器的*暢銷型號(hào)。它具有多量程/多氣體功能,使用戶可以在現(xiàn)場(chǎng)快速輕松地更改氣體類型或滿量程流量。 該質(zhì)量流量控制器具有+/- +/- 1.0%SP的高精度,壓電執(zhí)行器閥,高速響應(yīng)和全金屬特性,適用于提高過(guò)程良率和簡(jiǎn)化零件管理。數(shù)字/模擬,DeviceNet?和EtherCAT?通信均可用。

產(chǎn)品描述

商品詳情


高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X

暢銷型號(hào) Z512MGX,SEC-Z522MGXN,SEC-Z532MGX,SEC-Z542MGX,SEC-Z552MGX,SEC-Z562MGX,SEC-Z514MGX,SEC-Z524MGXN,SEC-Z534MGX,SEC-Z544MGX,SEC-Z554MGX,SEC-Z564MGX,SEC-Z512MGX,SEC-Z522MGXN,SEC-Z532MGX,SEC-Z542MGX,SEC-Z552MGX,SEC-Z562MGX,

流量范圍0.5sccm-500SLM

日本horiba堀場(chǎng)/厚禮博品牌的SEC-Z500系列屬于高性能數(shù)字式熱式質(zhì)量流量控制器,主要應(yīng)用MOCVD、PECVD等設(shè)備。

概要

        熱式質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中非常關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA銷售量高的數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器,包含多氣體/多量程功能以實(shí)現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實(shí)現(xiàn)高精度±  1.0% S.P.,快速響應(yīng),有效提高良率及簡(jiǎn)化備件管理。

特征

高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多項(xiàng)式近似曲線實(shí)現(xiàn)線性補(bǔ)償。此功能實(shí)現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實(shí)的反應(yīng)實(shí)際氣體精度,HORIBA STEC監(jiān)測(cè)了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對(duì)不同氣體的校正數(shù)據(jù),建立標(biāo)準(zhǔn)氣體管理系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)真實(shí)氣體精度確認(rèn)。

高速響應(yīng)
    裝載“變量PID系統(tǒng)”可實(shí)現(xiàn)兩設(shè)定點(diǎn)之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點(diǎn)而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改,也能不會(huì)影響PID功能。

多氣體,多量程解決方案
    HORIBA的配置軟件可簡(jiǎn)單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設(shè)備端拆卸。此舉有效減少M(fèi)FC庫(kù)存需求,極大減少時(shí)間和成本的浪費(fèi)。




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