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產(chǎn)品名稱： PV1000、PV2000壓電閥、壓力控制器 PV 系列
產(chǎn)品型號：
產(chǎn)品展商：日本HORIBA
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

Horiba 壓電閥PV系列內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥，接氣部采用了全金屬構(gòu)造，*適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。通過金屬封口方式實(shí)現(xiàn)了超低泄漏，不僅可進(jìn)**體的流量控制，而且還可以進(jìn)行液體的流量控制

產(chǎn)品描述

商品詳情

壓電閥、壓力控制器 PV 系列

Horiba 壓電閥PV系列內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥，接氣部采用了全金屬構(gòu)造，*適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。通過金屬封口方式實(shí)現(xiàn)了超低泄漏，不僅可進(jìn)**體的流量控制，而且還可以進(jìn)行液體的流量控制

概要

PV1000、PV2000系列由陶瓷晶體閥和金屬主體和金屬密封圈組成，再由壓力傳感器或流量傳感器和一個比率控制器來進(jìn)行壓力控制或流量控制。陶瓷晶體驅(qū)動閥：陶瓷晶體閥系列根據(jù)外部單元控制信號來實(shí)現(xiàn)壓力控制功能。壓力信號來自壓力傳感器外部控制信號單元PCU－1000/2000，控制單元會通過節(jié)內(nèi)部電路計算出*佳的控制方式并輸出給陶瓷晶體閥來實(shí)現(xiàn)壓力控制。且PCU－2100同時具有壓力控制信號設(shè)定功能。

特征

超潔凈處理
量程范圍廣
耐高溫 PV-1000S/2000S 系列
外部控制壓力系統(tǒng)

規(guī)格

PV-1000
流量量程	1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算)
流量控制范圍	全標(biāo)度的2?100%
閥門方式	常開/關(guān)閉型
控制輸入1	0?5VDC
響應(yīng)性	0.5秒以內(nèi)
使用溫度	0?50℃
使用壓力	*大值.300kPa
耐壓	1MPa
泄漏規(guī)格	5×10-12Pa?m3(He)

PV-2000
流量量程	10/20 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算)
流量控制范圍	全標(biāo)度の2?100%
閥門方式	常開/關(guān)閉型
控制輸入1	0?5VDC
響應(yīng)性	0.5秒以內(nèi)
使用溫度	0?50℃
使用壓力	*大值.300kPa
耐壓	1MPa
泄漏規(guī)格	5×10-12Pa?m3(He)

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PV1000、PV2000壓電閥、壓力控制器 PV 系列

商品詳情

概要

特征

規(guī)格

PV1000、PV2000壓電閥、壓力控制器 PV 系列