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EC-5000系列應(yīng)腔室排氣壓力控制器

簡單介紹

應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列應(yīng)腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列暢銷型號：EC-5104、EC-5105概要 Horiba品牌的EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，

產(chǎn)品描述

暢銷型號：EC-5104、EC-5105

概要

Horiba品牌的EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應(yīng)室的壓力值始終穩(wěn)定在客戶要求的設(shè)定范圍。高分辨度的步進(jìn)式馬達(dá)和獨特的蝶形閥設(shè)計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應(yīng)。

適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質(zhì)本體

當(dāng)排氣端流量被調(diào)整到*佳的位置：

抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
阻止了噴霧的次級沉積
阻止了危險水蒸氣的擴(kuò)散此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小
此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應(yīng)給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門獲得出口許可證件。

Model EC-	5104	5105	5202
Compatible size	NW40	NW50	25 mm PTFE fitting	1 inch PTFE fitting
Materials at gas contact area	SUS316L, Fluoro rubber		PTFE, PEEK, Fluoro rubber
Conductance (in vacuum area)	0.4 to 80L/s	0.6 to 200L/s	——
Outflow at 100 mm H2O (fully closed)	20L/min	25L/min	3L/min

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