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- 產(chǎn)品名稱：SEC-Z514MGX日本堀場 HORIBA高性能質(zhì)量流量控制器
- 產(chǎn)品型號：
- 產(chǎn)品展商：日本HORIBA
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
這是HORIBA用于數(shù)字質(zhì)量流量控制器的*暢銷型號。它具有多量程/多氣體功能，使用戶可以在現(xiàn)場快速輕松地更改氣體類型或滿量程流量。
該質(zhì)量流量控制器具有+/- +/- 1.0％SP的高精度，壓電執(zhí)行器閥，高速響應(yīng)和全金屬特性，適用于提高過程良率和簡化零件管理。數(shù)字/模擬，DeviceNet?和EtherCAT?通信均可用。
產(chǎn)品描述
商品詳情
高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X
暢銷型號 Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，SEC-Z514MGX，SEC-Z524MGXN，SEC-Z534MGX，SEC-Z544MGX，SEC-Z554MGX，SEC-Z564MGX，SEC-Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，
流量范圍0.5sccm-500SLM
日本horiba堀場/厚禮博品牌的SEC-Z500系列屬于高性能數(shù)字式熱式質(zhì)量流量控制器，主要應(yīng)用MOCVD、PECVD等設(shè)備。
概要
熱式質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中非常關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA銷售量高的數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現(xiàn)高精度± 1.0% S.P.，快速響應(yīng)，有效提高良率及簡化備件管理。
特征
高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補償。此功能實現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實的反應(yīng)實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標(biāo)準(zhǔn)氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真實氣體精度確認。
高速響應(yīng)
裝載“變量PID系統(tǒng)”可實現(xiàn)兩設(shè)定點之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設(shè)備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。
