高溫應用質量流量控制器 SEC-8000 系列耐溫150℃，*大流量1050SLM，概要 SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產品而感到驕傲。

產品描述

高溫應用質量流量控制器 SEC-8000 系列

耐溫150℃，*大流量1050SLM，

概要

SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產品而感到驕傲。

特征

·         適用于高溫：可滿足150℃烘焙
·         具備數字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設定流量.
·         超快速響應
·         超潔凈處理
·         滿足RoHS 環(huán)境標準

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。

適用于高溫：可滿足150℃烘焙
產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
*適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

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